石英ボート

石英ボートは高純度の溶融シリカから作られており、半導体拡散炉、酸化炉、アニーリングシステム、ウェーハの取り扱いプロセス向けに設計されています。熱衝撃耐性に優れ、高温での性能と超クリーンな環境での化学的安定性を提供します。
私たちは、スロット間隔、ウェハー容量、壁厚、寸法、および CNC 加工を含む、完全なカスタマイズをサポートします。溶融石英のボートは、半導体製造、太陽電池加工、光ファイバ製造、研究機関で広く使用されています。


私たちはあらゆる種類の石英ガラス製品サービスをカスタマイズできます
あなたに従って
依頼/サンプル/図面

ブランドLianyungang Tuguan 溶融石英
製品名石英ボート
材料99.99% 高純度石英
厚さ0.2-100mm
処理サービス曲げ、溶接、パンチング、切断、成形
カラー透明な
サイズカスタマイズ済み
Surface Quality60/40
アプリケーション光学/半導体/産業
密度2.2×103 kg/m3硬度5.5 – 6.5 Mohs’ Scale 570 KHN 100
設計引張強度4.8×107 Pa (N/m2) (7000 psi)Design Compressive StrengthGreater than 1.1 x l09 Pa (160,000 psi)SMD 5730
Bulk Modulus3.7×1010 Pa (5.3×106 psi)Rigidity Modulus3.1×1010 Pa (4.5×106 psi)
Softening Point1730°CAnnealing Point1215°C
  1. SiO2> 99.99% ,high purity quartz tube.
  2. Operating Temperature: 1250℃ SoftenTemperature: 1730℃.
  3. Excellent visual and chemical performance .
  4. without surface coating and infectant.
  5. Health care and environmental protection
  6. Any dimension can be made.
  7. CE.RoHs SGS approved.

よくある質問

Quartz boats are used for holding and transporting wafers or samples inside diffusion furnaces, oxidation furnaces, annealing equipment, and other high-temperature semiconductor processing tools.

They are manufactured from 99.99% high-purity fused silica, suitable for semiconductor-grade thermal processes.

Yes. We offer precision CNC cutting, slotting, polishing, grinding, welding, and bending to meet advanced semiconductor requirements.

Yes. Slot width, spacing, angle, and capacity can be customized according to wafer size (2–12 inch) and equipment requirements.

Quartz boats withstand continuous temperatures up to 1050°C and short-term peaks around 1200°C, making them ideal for diffusion and oxidation processes.

Please provide drawings or details such as length, width, height, slot spacing, wafer size, wall thickness, and quantity. Photos or samples improve accuracy.