半導体用溶融石英部品

石英ボートは高純度の溶融シリカから作られており、半導体拡散炉、酸化炉、アニーリングシステム、ウェーハの取り扱いプロセス向けに設計されています。熱衝撃耐性に優れ、高温での性能と超クリーンな環境での化学的安定性を提供します。
私たちは、スロット間隔、ウェハー容量、壁厚、寸法、および CNC 加工を含む、完全なカスタマイズをサポートします。溶融石英のボートは、半導体製造、太陽電池加工、光ファイバ製造、研究機関で広く使用されています。