Quarzkomponenten für Halbleiter

  • Quarzboot

    Quarzboot

    Das Quarzboot besteht aus hochreinem geschmolzenen Quarzglas und ist für Diffusionsöfen in der Halbleiterfertigung, Oxidationsöfen, Annealing-Systeme und Wafer-Handlingsprozesse konzipiert. Es bietet hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit, Leistung bei hohen Temperaturen und chemische Stabilität in ultrareinen Umgebungen.
    Wir unterstützen vollständige Anpassungen, einschließlich des Slotabstands, der Waferkapazität, der Wanddicke, der Abmessungen und CNC-Bearbeitung. Boote aus geschmolzenem Quarz werden in der Halbleiterfertigung, der Verarbeitung von Solarzellen, der Herstellung von Glasfasern und Forschungslabors weit verbreitet eingesetzt.