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Individuell gefertigte Quarzrohre (geschmolzenes Siliziumdioxid) – klar, milchig, kapillar und quadratisch high-purity fused silica quartz bell jars. Specifically designed for CVD (Chemical Vapor Deposition) and plasma reaction environments, these chambers offer exceptional thermal stability and chemical resistance. Each unit features a precision-welded gas inlet side arm and an integrated internal distributor to ensure uniform gas flow across the wafer surface. Whether you are scaling up production or conducting R&D, our CNC-machined quartz solutions provide the vacuum integrity and purity your process demands.
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Das Quarzboot besteht aus hochreinem geschmolzenen Quarzglas und ist für Diffusionsöfen in der Halbleiterfertigung, Oxidationsöfen, Annealing-Systeme und Wafer-Handlingsprozesse konzipiert. Es bietet hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit, Leistung bei hohen Temperaturen und chemische Stabilität in ultrareinen Umgebungen.
Wir unterstützen vollständige Anpassungen, einschließlich des Slotabstands, der Waferkapazität, der Wanddicke, der Abmessungen und CNC-Bearbeitung. Boote aus geschmolzenem Quarz werden in der Halbleiterfertigung, der Verarbeitung von Solarzellen, der Herstellung von Glasfasern und Forschungslabors weit verbreitet eingesetzt.
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Individuell gefertigte Quarzrohre (geschmolzenes Siliziumdioxid) – klar, milchig, kapillar und quadratisch high-purity fused silica quartz bell jars. Specifically designed for CVD (Chemical Vapor Deposition) and plasma reaction environments, these chambers offer exceptional thermal stability and chemical resistance. Each unit features a precision-welded gas inlet side arm and an integrated internal distributor to ensure uniform gas flow across the wafer surface. Whether you are scaling up production or conducting R&D, our CNC-machined quartz solutions provide the vacuum integrity and purity your process demands.
